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报告名称：[项目名称] 业务需求与数据目标报告
版本：V1.0
日期：[2025-9-4]
编制人：[李晓睿/数字智能部]
审核人：[姓名/部门]

1. 引言
   1.1 背景与业务场景
   • 项目发起背景（业务痛点、现有问题等）
   工艺类型：PECVD-NDC
   机台：NDCVD97
   腔室：CM2
   工艺名称：SiCN-200A薄膜沉积
   工艺难度大
   • 相关方（业务方等）
   N8工艺工程师 张嘉显
   1.2 报告目的与范围
   • 明确核心目标（指导后续建模方向）
   • 界定项目边界（不包含的业务场景或问题）
2. 业务目标
   2.1 核心目标
   • 具体目标
   • 目标优先级
   2.2 业务产出与评价标准
   • 成功指标（业务方认可的量化标准，如“模型上线后3个月内验证效果”）
   • 辅助指标（如“模型解释性满足业务可理解性要求”）
3. 术语与定义
   工艺配方（Recipe）共六个因子：
4. Ampoule流量（反应源，单位：sscm）
5. NH3流量
6. He流量
7. Pressure（单位：torr）
8. HFRFPwr（单位：W）
9. LFRFPwr
   五个表征薄膜的指标的定量关系：
10. THK （膜厚，单位：A）：200A±6
11. Particle（颗粒数）：小于20ea
12. Uniformity（均匀度，1sigma%）小于3%
13. Stress（应力，MPa）：-130MPa±50
14. RI（折射率）：1.896±0.001
15. 需求风险分析
    4.1 需求与假设约束
    • 核心假设
    • 约束条件
    4.2 风险对策
    • 潜在风险（如数据不足、业务目标模糊）
    实验推进进度、数据不足
    • 应对措施（如补充数据、定期与业务方对齐目标）
16. 数据挖掘目标
    • 转化业务目标为技术目标
    • 模型评价指标
17. 模型计划
    • 技术框架（如“Python+Scikit-learn”）
    • 算法方向（如“优先尝试XGBoost，备选LightGBM”）
    尝试MLP网络
    • 时间节点（关键里程碑：需求确认、数据准备、模型上线等）
    附录
    • 参考资料（业务文档等）