Etalon（标准具）是一种基于多光束干涉原理的高精度光学元件。它通常由两块高度平行、部分反射的平板组成，中间是固定距离的空气或固体介质。它在光谱仪中扮演着核心滤波和选频的角色，是现代高分辨率光谱技术的基石之一。

一. 核心原理

当一束光进入标准具时，会在两个内表面之间经历多次反射和透射。透射出的多束光会发生干涉。只有在满足特定相位条件（即光程差为波长的整数倍）的光波长才会发生相长干涉，从而拥有高透射率。这导致其透射光谱是一系列尖锐的、周期性分布的峰值，这些峰值称为干涉序。

透射峰波长满足：

m*λ= 2nL*cosθ

其中：

· m 是干涉序（正整数）

· *λ 是波长

· n 是介质折射率

· L 是腔长（两反射面间距）

· θ 是入射角

二. 在光谱仪中的主要应用形式

Etalon在光谱仪中的应用主要体现在以下几个方面：

1. 作为可调谐滤波器（TF, Tunable Filter）

· 工作原理：通过精密地改变标准具的腔长 L （通常使用压电陶瓷PZT）、折射率 n （如电光或热光效应）或入射角 θ ，可以连续地扫描透射峰波长。

· 应用：

· 激光雷达（LiDAR）：用于大气遥感，可以高精度地选择特定的原子或分子吸收线（如钠层、水蒸气、二氧化碳），以测量温度、风速和成分浓度。

· 荧光显微成像：在共聚焦或宽场显微镜中，选择特定的激发或发射波长，实现多色成像和光谱分离。

2. 作为核心色散元件——法布里-珀罗干涉仪（F-P干涉仪）

将标准具与成像系统、探测器结合，就构成了扫描式法布里-珀罗光谱仪。

· 工作原理：通过扫描腔长，让不同波长的光依次达到干涉极大并透过，被探测器记录，从而获得超高分辨率的光谱。

· 核心优势：

· 极高的光谱分辨率：分辨率与腔长和反射面反射率成正比。精细度 F 值越高，透射峰越尖锐，分辨率越高。轻松达到数百万的分辨本领，足以分辨极细微的波长差（如原子超精细结构、布里渊散射频移）。

· 高光通量（étendue）：与狭缝型光栅光谱仪相比，F-P光谱仪在同等分辨率下，可以通过更大的立体角和面积，收集更多的光，非常适合观测微弱光源。

· 应用：

· 天文物理学：测量恒星大气、星云、行星大气的谱线多普勒展宽和频移，研究天体运动、磁场（塞曼效应）和物理条件。

· 等离子体诊断：测量高温等离子体的离子温度和速度分布。

· 激光光谱学：精确测量激光线宽和模式结构。

3. 在激光器中作为波长选择器

· 在激光谐振腔内插入固体标准具（如一片两面镀膜的晶体或玻璃平板），利用其窄带滤波特性，可以压窄激光线宽、选择单一纵模或抑制跳模。这是实现单频、窄线宽激光器的关键技术。

4. 用于波长锁定和校准

· 将标准具的透射峰作为已知的、稳定的波长参考（“频率标尺”），可以用于校准其他光谱仪（如光栅光谱仪）的波长轴，或锁定激光器的输出波长到特定值。

5. 作为梳状滤波器（Interleaver/Demultiplexer）

在光纤通信中，具有特定自由光谱范围（FSR）的标准具可以用来对密集波分复用（DWDM）信道进行合波/分波，或进行光频梳的滤波和处理。

主要优缺点

优点：

· 超高分辨率与精细度：这是其最突出的优势，是研究超精细光谱结构的必备工具。

· 高光通量：无狭缝限制，光能利用率高。

· 可调谐性：能够实现连续、精确的波长扫描。

· 结构紧凑：尤其是固体标准具，非常稳定且体积小。

缺点：

· 自由光谱范围（FSR）小：两个相邻透射峰的波长间隔（FSR）有限，通常工作范围窄。这导致了多序重叠问题，需要配合预选色散仪（如光栅单色仪） 使用，以隔离出待测的单一干涉序。这种“光栅+标准具”的组合是常见的高分辨率光谱仪架构。

· 对环境敏感：温度、振动和压力的变化会引起腔长的微小改变，导致透射峰漂移，因此需要极好的温控和机械稳定，或使用主动稳腔技术。

· 成本高：高精细度标准具要求反射面具有极低的粗糙度和平行度（通常优于λ/100），加工和镀膜工艺要求极高，价格昂贵。

现代发展趋势

· 光纤集成F-P腔：利用光纤端面制作微型标准具，或与光纤光栅结合，适用于光纤传感和通信系统。

· 微机电系统（MEMS）F-P滤波器：通过MEMS技术制造可电调谐的微型标准具，体积小、速度快、功耗低，广泛应用于可调谐激光器和光谱传感。

· 同步扫描技术：与CCD相机结合，实现快速、多通道的并行探测。

总结

Etalon（标准具）在光谱仪中主要用于实现超高光谱分辨率和精确波长选择。虽然其工作范围有限且对环境敏感，但其无与伦比的精细分辨能力和高光通量特性，使其在天文观测、激光物理、高精度传感和光谱分析等尖端领域成为不可替代的核心器件。它通常与光栅等色散元件联用，构成了现代高分辨率光谱仪的标准配置。