SHOT FLOORPLAN 中的定位mark 和test key 做法和注意事项

news/2025/11/26 12:20:56/文章来源:https://www.cnblogs.com/jinzbr/p/19272223

SHOT FLOORPLAN :

VIS VIS 一个SHOT 是指单次光刻时所朴曝光的区域,一般FAB 会规定一个最大的极限面积要求,然后设计人员在此面积下进行DIE 的flooplan ,可以是单颗的DIE 进行重复,也会进行主片和副片的插花die 的形式,在验证和得片率之间进行取舍,如果是验证过量产的芯片,会尽量减少插花die 的数量。成本上是mask 制作是一次性的,插花die 在验证时尽量要保证少改动底层的AA POLY 层次,可以预留metal option 方便后续改版。还有就是主die 和 插花die 的layer mask 选择上要选择 主>插花 ,避免产生两个flow ,不能生产在同一片wafer 上,例如在VIS 厂时1P3M 与1P4M flow 是不兼容的,CTM2 与 CTM3 无法做在同一片wafer。
关于test key 与 mark gds ,test key 是可以做在scribe line 里的,这里是需要与foundry 进行沟通的,fab 自己也是需要放置一些test key / test pattern / 定位mark 等,如果需要特殊要求,如wafer on wafer ,(需要镜像对称),fab 会按设计公司要求设计需要的mark gds 与 test key gds ,这样在SHOT FLOORPLAN 是,不仅需要进行die 的摆放,还需要对mark gds 和test pattern 进行floorplan ,其中设计到大量的重复数据操作,如提取大量的gds 的location list ,floorplan 示意图制作,以及对mark & test——key 进行打包 和撒dummy ,本文将详细介绍一下操作步骤和关键事项,以及分享一些有用的脚本等。 关于test key 与 mark gds ,test key 是可以做在scribe line 里的,这里是需要与foundry 进行沟通的,fab 自己也是需要放置一些test key / test pattern / 定位mark 等,如果需要特殊要求,如wafer on wafer ,(需要镜像对称),fab 会按设计公司要求设计需要的mark gds 与 test key gds ,这样在SHOT FLOORPLAN 是,不仅需要进行die 的摆放,还需要对mark gds 和test pattern 进行floorplan ,其中设计到大量的重复数据操作,如提取大量的gds 的location list ,floorplan 示意图制作,以及对mark & test——key 进行打包 和撒dummy ,本文将详细介绍一下操作步骤和关键事项,以及分享一些有用的脚本等。
关于打包建cell 的注意事项 :就是坐标与cell 的边长是统一放在SHOT 下的,为了防止放错,应该防止cell view 时禁止翻转,即![image],ROtation 为0 度(https://img2024.cnblogs.com/blog/2938433/202511/2938433-20251126111742496-1189761807.png)
location list 脚本 1764127243490_3368e225519c413dbf6dacfb2f4dfeb8
得到location list 后由python 脚本得到示意图 (脚本未成功,本人依旧手绘,但一定可行)
撒dummy ,shell 脚本,可以将多个dummy cell 同时建在同一个run shell 指令脚本中,一次性跑完 image
inport gds ,将建好的dummy 都存到一个文件夹内,导入的时候可以一次性选择导入所有gds 文件 (PS 这么多年我也是第一次知道可以多选)
也是一样建一个shell 指令文档,然后一次性操作所有文件 image
注意事项,在导入多个dummy gds 时一定要记得在option 选择rename ,否则会覆盖掉导致错乱

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