核心总览
在半导体工厂中，MES（Manufacturing Execution System，制造执行系统） 是最高层的指挥中枢，它负责管理生产线上从投料开始到成品产出的全部作业流程。而其他各种“XX Server”则是MES这个大脑指挥下的专业功能模块，负责处理特定类型的任务和数据。
各服务器功能详解
- MES Server (制造执行系统服务器)
核心角色： 总指挥和大脑。它是所有生产活动的核心管理平台。
主要功能：
工单管理： 创建、发布、跟踪和管理生产订单。
在制品（WIP）跟踪： 实时追踪每一片晶圆在生产线上的位置、状态和历史。
配方管理： 管理生产设备所需的生产配方（Recipe），确保正确的晶圆使用正确的加工程序。
物料跟踪： 管理晶圆载具（如FOUP）的移动和存储。
数据收集： 汇集来自生产设备和各类服务器的海量数据。
流程控制： 定义和执行生产流程路径，决定晶圆下一步该去哪台机器。
- UAC Server (Unit Automation Controller / 设备自动化控制器)
核心角色： 设备层的翻译官和指挥官。它是MES与生产设备之间通信的桥梁。
主要功能：
协议转换： 生产设备通常使用SECS/GEM（半导体设备通信标准）协议，而MES使用更高层的协议。UAC负责在两者之间进行翻译，实现无缝通信。
指令下发： 将MES的指令（如“开始加工”、“下载Recipe #123”）转换为设备能理解的命令。
状态监控： 实时从设备采集状态数据（运行中、空闲、故障等）并上报给MES。
事件收集： 收集设备产生的事件和警报信息。
- MDS Server (Material Handling System Server / 物料搬运系统服务器)
核心角色： 物流调度中心。负责控制晶圆在工厂内的自动搬运。
主要功能：
控制自动化物料搬运设备（AMHS）： 如天车（OHT）、堆垛机（Stocker）、自动导引车（AGV） 等。
路径规划： 当MES发出搬运指令（如“将FOUP A从Stocker 1运送到设备Tool B”），MDS会计算最优路径并调度天车执行。
交通管理： 避免天车在轨道上发生碰撞，优化物流效率。
- PMS Server (Particle Monitoring System / 颗粒监控系统服务器)
核心角色： 环境清洁度卫士。监控生产环境的洁净度，特别是对芯片良率致命的颗粒污染。
主要功能：
连接颗粒监测器： 接收来自分布在洁净室内各关键位置的颗粒传感器的实时数据。
超标警报： 当颗粒物浓度超过设定阈值时，立即发出警报，并可自动触发设备暂停或通知工程师处理。
趋势分析： 记录和分析颗粒数据，用于环境改善和问题根源分析。
- PRMS Server (Particle Reporting and Management System / 颗粒报告与管理系统服务器)
核心角色： 颗粒数据分析师。与PMS紧密相关，更侧重于对颗粒数据的后期处理、报告和深度管理。
主要功能：
数据存储与查询： 存储长期的颗粒历史数据，并提供强大的查询和报表生成功能。
SPC（统计过程控制）： 对颗粒数据进行统计分析，监控环境稳定性和预测潜在问题。
合规性报告： 生成符合内部或客户要求的洁净度报告。
- RTMS Server (Real-Time Monitoring System / 实时监控系统服务器)
核心角色： 生产过程的“心电图仪”。专注于实时采集和分析生产设备在加工过程中产生的工艺参数。
主要功能：
高频率数据采集： 以毫秒级频率从设备传感器采集数据（如温度、压力、气体流量、功率等）。
实时监控与告警： 在加工过程中实时判断参数是否在允许的上下限范围内，一旦超差立即报警，甚至中断生产，防止批量性不良。
先进过程控制（APC）： 为更高级的APC应用提供数据基础，实现参数的自动微调，补偿工艺漂移。
- OCAP Server (Out-of-Control Action Plan / 异常控制行动方案服务器)
核心角色： 标准化的应急手册。当生产出现异常（如设备宕机、参数超差、测试良率暴跌）时，引导操作员或工程师执行标准化的排查和处理流程。
主要功能：
流程引导： 出现异常后，自动弹出预定义的检查步骤和处理方案（例如：“第一步：检查气体压力；第二步：确认阀门状态...”）。
记录与追踪： 记录所有执行的操作和结果，确保问题处理的可追溯性。
防止人为失误： 减少不同工程师因经验差异导致的处理方式不一致，提高问题解决的效率和准确性。
- FWP Server (Fault Detection and Classification / Wafer Probing 关联服务器)
核心角色： 良率问题侦探。这个名称可能特定于某些供应商，其核心功能是FDC（Fault Detection and Classification，故障检测与分类）。
主要功能：
工艺故障诊断： 分析RTMS采集的工艺参数数据，运用机器学习或统计算法，检测微小的异常模式，并自动分类可能的原因。
与电性测试关联： 将工艺过程中的异常与最终晶圆测试（Wafer Probing） 的良率结果进行关联分析，快速定位导致良率问题的特定工艺步骤和设备。
- AMS Server (Automated Material Handling System Server / 自动化物料搬运系统服务器)
核心角色： 与MDS Server功能高度重叠或完全相同。在大多数半导体工厂的语境下，AMS 和 MDS 指的是同一个系统，即控制天车、堆垛机等自动化物流设备的服务器。它负责执行MES发出的物料搬运指令。
总结与类比
您可以这样理解它们之间的关系：
MES 是公司的 CEO，制定战略并下达总体命令。
UAC 是 部门经理，将CEO的命令翻译给一线员工（设备）并汇报情况。
MDS/AMS 是 物流部门，负责在公司内部搬运物资。
PMS/PRMS 是 环境与安全部门，负责监控办公环境的空气质量并生成报告。
RTMS 是 生产线质检员，实时盯着仪表盘，确保每个生产环节的参数都合格。
OCAP 是 标准操作流程手册，出现任何意外情况，都按它规定的步骤处理。
FWP 是 高级质量分析师，分析生产数据和最终产品质量的关系，找出问题的根本原因。
所有这些系统通过紧密集成，构成了一个高度自动化、智能化和可视化的现代半导体智能制造工厂。
