在纳米显微测量领域，基于纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术、共聚焦测量等技术积累，具有自主知识产权的白光干涉仪（Z向分辨率可高达0.1纳米）和共聚焦显微镜，广泛应用于半导体、3C电子、高校科研等行业领域。
从纳米到宏观，产品解决方案全面覆盖，满足多样化需求：
1、光学3D表面轮廓仪
光学3D表面轮廓仪利用白光干涉技术，结合精密Z向扫描模块和3D建模算法，能够对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。
典型应用：

2、共聚焦显微镜
共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。
典型应用：

3、台阶仪
台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。
典型应用：